1.         Tiêu chuẩn nước cấp cho hoạt động sản xuất điện tử

Nước cấp cho hoạt động sản xuất điện tử thường được kiểm soát nghiêm ngặt nhằm đảm bảo chất lượng sản phẩm. Nước cấp cho cho hoạt động sản xuất của các nhà máy linh kiện điện tử phải là nước siêu tinh khiết (UPW), chỉ có duy nhất 2 thành phần đó là oxy và hidro.

Tại các nhà máy sản xuất điện tử, nước siêu tinh khiết thường được sử dụng trong các công đoạn sản xuất điện tử sau:

• Sử dụng cho việc rửa các thành phần chất bán dẫn trong sản xuất
• Nước sử dụng để làm sạch và hoạt đông khắc, quá trình oxy hóa bề mặt silicon, chuẩn bị mạ…
• Các ứng dụng khác trong phát triển và chế tạo các thiết bị bán dẫn, thiết bị màng mỏng, diot phát sáng, hình ảnh, mạch in, các thiết bị bộ nhớ, thiết bị hút chân không, hoặc các thiết bị điện

Tiêu chuẩn nước cấp áp dụng cho hoạt động sản xuất điện tử dựa trên kích thước thiết bị sản xuất. Cụ thể:

(*) Khuyến nghị các loại chất lượng nước áp dụng như sau:

Loại E1: Nước này được sử dụng để sản xuất các thiết bị có chiều rộng từ 0.5 đến 1 mm

Loại E 1.1: Sử dụng để sản xuất các thiết bị có chiều rộng từ 0.25 đến 0.35 mm

Loại E1.2: Được sử dụng trong sản xuất các thiết bị có độ rộng từ 0.09 – 0.18 mm. Đây là nước dành cho những ứng dụng quan trọng nhất

Loại E2: Dùng để sản xuất thiết bị có kích thước từ 1 -5mm

Loại E3: Dùng để sản xuất thiết bị có kích thước lớn hơn 5mm. Loại này có thể được sử dụng để sản xuất linh kiện lớn hơn và một số thành phần nhỏ không bị ảnh hưởng bởi một lượng nhỏ tạp chất

Loại E4: Thường được sử dụng cho các giải pháp mạ và cho các ứng dụng khác mà sử dụng chất lượng nước thấp hơn

2.         Nguồn nước cấp cho hoạt động sản xuất điện tử:

Hiện nay tại Việt Nam, có 02 nguồn nước chính cung cấp cho hoạt động sản xuất điện tử là nước ngầm hoặc nước từ các nhà máy cấp nước sạch trên địa bàn.

Tuy nhiên chất lượng nguồn nước ngầm hiện nay không đảm bảo và có dấu hiệu bị ô nhiễm, chứa nhiều kim loại nặng, vi sinh vật… do hoạt động sản xuất và sinh hoạt của con người. Do vậy, các doanh nghiệp sản xuất điện tử bắt buộc phải xử lý nước cấp đầu vào.

3.         Giải pháp xử lý nước cấp sản xuất điện tử do NGO cung cấp:

Ưu điểm về mặt công nghệ:

• Nước cô đặc từ hệ thống lọc có thể được tái sử dụng, không có rủi ro oxy hóa cho giai đoạn lọc RO từ khí oxy hóa
• Vận hành tiêu thụ ít điện năng, chỉ ~ 0.06~0.12 KWH/m3.
• Giải pháp điều chỉnh linh hoạt tùy vào tiêu chuẩn nước cần đạt

4.         Quy trình xử lý nước cấp đạt tiêu chuẩn cho hoạt động sản xuất:

4.1.      Quy trình 1 (Nước sau xử lý đạt chuẩn E1)

4.2.      Quy trình 2 (Nước sau xử lý đạt chuẩn E2)